磁敏傳感器是傳感器產(chǎn)品的一個重要組成部分肘论，隨著我國磁敏傳感器技術的發(fā)展枯悲，其產(chǎn)品種類和質(zhì)量將會得到進一步發(fā)展和提高，進軍汽車蝠题、民用儀表等這些量大面廣的應用領域即將實現(xiàn)影塑。國產(chǎn)的電流傳感器蝎蚣、高斯計等產(chǎn)品日前已經(jīng)開始走入國際市場，與國外產(chǎn)品的差距正在快速縮小徘繁。

一淹误、磁敏傳感器的發(fā)展特點

1．集成電路技術的應用。將硅集成電路技術應用于磁敏傳感器嘹券，制成集成磁敏傳感器湘发。
　　2．InSb薄膜技術的開發(fā)成功，使得霍爾器件產(chǎn)能劇增犀村，成本大幅度下降宰僧。
　　3．強磁體合金薄膜得到廣泛應用。各種磁阻器件出現(xiàn)观挎，應用領域廣泛琴儿。
　　4．巨磁電阻多層薄膜的研究與開發(fā)。新器件的高靈敏度键兜、高穩(wěn)定性凤类，引起研制高密度記錄磁盤讀出頭的科技人員的極大關注。
　　5．非晶合金材料的應用普气。與基礎器件配套應用谜疤，大大改善了磁傳感器性能。
　　6．Ⅲ—V族半導體異質(zhì)結構材料的開發(fā)和應用现诀。通過外延技術夷磕，形成異質(zhì)結構，提高磁敏器件的性能仔沿。

二坐桩、國外磁敏傳感器的現(xiàn)狀

1．國外磁傳感器的常見種類

就市場占有情況來看，國外磁敏傳感器主要品種依然是霍爾元件封锉、磁阻元件爬蜜。近期的巨磁阻元件也有良好的發(fā)展空間。

2．外磁傳感器的代表廠商：

·霍爾元件：日本旭化成假凿；日本東芝披痕；美國Honeywell公司；美國Allogro公司赫赊。
　　·磁阻器件：日本SONY公司诞只；荷蘭PHILIPS公司。

3．國外磁傳感器的應用情況

磁敏傳感器應用的最大特點是無接觸測量剧胚。

·霍爾元件：

磁場測量包惹，做高斯計（特斯拉計）的檢測探頭。
　　電流檢測落六，做電流傳感器/變送器的一次元件箫乳。
　　直流無刷電機枷瀑，用于檢測轉子位置并提供激勵信號。
　　集成開關型霍爾器件的轉速/轉數(shù)測量韵谋。

·強磁體薄膜磁阻器件：

位移傳感器褒选，主要有磁尺的線性長距離位移測量。
　　角位移傳感器振诬，主要用語轉動角度測量，廣泛應用于汽車制造業(yè)衍菱。
　　脈沖發(fā)訊傳感器赶么，主要用于流量檢測和轉速/轉數(shù)測量，如電子水表和流量計的發(fā)訊傳感器脊串。

·半導體磁阻器件：

主要是InSb磁阻器件
　　微弱磁場檢測辫呻，主要用于偽鈔識別
　　脈沖測量，主要用于轉速/轉數(shù)測量

三琼锋、國內(nèi)磁敏傳感器的現(xiàn)狀

1．國內(nèi)磁傳感器的常見種類及其特點

目前國內(nèi)磁敏傳感器經(jīng)過三十余年的發(fā)展放闺，就基礎器件的研究與開發(fā)情況，除巨磁阻期間存有差距以外缕坎，常用其他磁敏傳感器如霍爾元件怖侦，磁阻元件等已經(jīng)與國外同類產(chǎn)品的水平相當。市場上應用的國產(chǎn)磁敏傳感器件的種類也與國外產(chǎn)品相當谜叹，依然是霍爾元件匾寝、磁阻元件。

2．國內(nèi)磁傳感器件代表廠商

·霍爾元件：中科院半導體所荷腊，沈陽儀表科學研究院黍鸡，南京中旭微電子公司。
　·磁阻器件：沈陽儀表科學研究院（匯博思賓尼斯公司）

3．國內(nèi)磁傳感器的應用情況

·電流傳感器：國內(nèi)包括沈陽儀表科學研究院（思賓尼斯公司）拾拄、西南自動化所等二秀坤、三十家大小不同的企業(yè)在生產(chǎn)和銷售電流傳感器/變送器，其市場競爭已經(jīng)白熱化莺肘。該領域是國內(nèi)磁敏傳感器應用最早荒懒、最普及、最成熟的領域阔萧。

·直流無刷電機領域：InSb霍爾元件為主绳瓣，主要用于直流無刷電機轉子位置檢測，并提供定子線圈電流換向的激勵信號男梆。目前年需求量在幾億只嗡深。價格確僅有0.3元人民幣左右。該領域是磁敏傳感器用量最大的領域贸卦，但是在國內(nèi)目前未形成工業(yè)化生產(chǎn)惋肾。

·流量計量領域：用于電子水表挪确、電子煤氣表、流量計等流量發(fā)訊傳感器的低功耗薄膜磁體磁阻器件暖夭。日前锹杈，該產(chǎn)品由沈陽儀表科學院匯博思賓尼斯傳感技術有限公司生產(chǎn)，市場空間可觀迈着。該領域是磁敏傳感器國內(nèi)最具發(fā)展?jié)摿Φ男屡d應用領域竭望，目前處于市場成長期。

·專用測量儀表：高斯計裕菠，用于磁場檢測咬清，在磁性材料生產(chǎn)及應用方面用量較多，國內(nèi)有沈陽儀表院思賓尼斯公司奴潘、北京師范學院等幾家公司生產(chǎn)旧烧，其中思賓尼斯公司的高斯計已經(jīng)批量出口美國。

另外画髓，國內(nèi)的磁敏傳感器在轉速/轉數(shù)測量掘剪、偽鈔識別等領域，也均有應用奈虾，但沒有形成規(guī)模夺谁。孫仁濤教授提到，目前國內(nèi)磁敏傳感器沒有進入汽車生產(chǎn)領域夏握，可謂一大遺憾零破。

四、國內(nèi)磁敏傳感器與國外磁敏傳感器的差距

1．生產(chǎn)規(guī)模小骑琳，成本高抠孤。
　　2．部分元件的穩(wěn)定性、可靠性差蜀短。
　　3．實際應用且具規(guī)模的領域少悠衔，特別是汽車領域，尚處空白趋奸。
　　4．科研成果轉化慢锡褂，生產(chǎn)條件配套性差，缺少資金入群鞭。

結束語:

“我們不可否認國產(chǎn)磁敏傳感器在其產(chǎn)品種類估褐、產(chǎn)品質(zhì)量及其應用領域中與國外磁敏傳感器的差距，但是刃纽，我們也看到了國產(chǎn)磁敏傳感器打入國際市場的勢頭與決心酝侯。”孫教授說，“我們有理由相信我們自己的產(chǎn)品蒋荚，有理由相信我們自己的那些為磁敏傳感器的發(fā)展而不懈努力的科技工作者戳稽！”

相關概念

·敏感元件：是指在傳感器中能直接感受或響應被測量的部分。

·轉換器件（元件）：是指傳感器中能將敏感元件感受或響應的被測量轉換成適用于傳輸或測量電信號部分期升。

通常惊奇，人們習慣將敏感元件叫“傳感器”（sensor）；將配有轉換器件的傳感器叫做變送器（transducer）播赁。在國外颂郎，分的不是很明確。

·磁敏傳感器：能接受磁信號容为，并按一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置祖秒。磁敏傳感器是伴隨測磁儀器的進步而逐漸發(fā)展起來的，在眾多的測磁方法中舟奠，大都是將磁場信息變成電信號進行測量。