電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)是裝備制造業(yè)的重要分支童谒，是電子信息產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)和工藝技術(shù)的高度融合肄扎，處于電子信息產(chǎn)業(yè)鏈最高端纫溃，基礎(chǔ)性強(qiáng)腰涧、關(guān)聯(lián)度高，是技術(shù)難度最大紊浩，復(fù)雜度窖铡、附加值和進(jìn)入門檻最高的領(lǐng)域，決定著一個(gè)國(guó)家或地區(qū)電子信息產(chǎn)品制造業(yè)的整體水平绒催，也是電子信息產(chǎn)業(yè)綜合實(shí)力的重要標(biāo)志萨宙。

 

 經(jīng)過(guò)改革開(kāi)放近三十年的發(fā)展，特別是“十五”以來(lái)的快速發(fā)展斜州，我國(guó)已成為全球最重要的電子信息產(chǎn)品生產(chǎn)基地惦知，產(chǎn)業(yè)規(guī)模位居世界前列，龐大的加工制造能力無(wú)疑為我們加快電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展創(chuàng)造了有利的市場(chǎng)環(huán)境愁逝。同時(shí)爪辟，經(jīng)過(guò)多年發(fā)展，我國(guó)數(shù)字控制敷忠、精密加工既权、微電子、通信吝重、新型元器件征乳、新材料、測(cè)試測(cè)量等相關(guān)產(chǎn)業(yè)和技術(shù)取得長(zhǎng)足進(jìn)步沦匿。因此律姨，“十一五”期間，依托國(guó)內(nèi)市場(chǎng)和已有產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)，通過(guò)自主創(chuàng)新择份，引進(jìn)扣孟、消化吸收再創(chuàng)新等多種方式發(fā)展電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)，完全有可能取得突破荣赶。

 

 根據(jù)黨的十七大提出的“振興裝備制造業(yè)”和《國(guó)務(wù)院關(guān)于加快振興裝備制造業(yè)的若干意見(jiàn)》（國(guó)發(fā)[2006]8號(hào)）精神凤价，以及《信息產(chǎn)業(yè)“十一五”規(guī)劃》的總體部署，結(jié)合國(guó)內(nèi)電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)已有的基礎(chǔ)和面臨的良好發(fā)展環(huán)境拔创，為進(jìn)一步促進(jìn)設(shè)備儀器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展利诺，信息產(chǎn)業(yè)部在深入調(diào)研、廣泛論證的基礎(chǔ)上剩燥，第一次專門編制了《電子專用設(shè)備和儀器“十一五”專項(xiàng)規(guī)劃》慢逾，以此作為“十一五”我國(guó)電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的指導(dǎo)性文件，為進(jìn)一步加強(qiáng)和規(guī)范行業(yè)管理灭红、指導(dǎo)重大工程建設(shè)實(shí)施提供依據(jù)侣滩。

 

 為便于行業(yè)內(nèi)外加深對(duì)規(guī)劃理解，更好地貫徹落實(shí)規(guī)劃变擒，現(xiàn)就《專項(xiàng)規(guī)劃》有關(guān)內(nèi)容說(shuō)明如下：

 

 電子專用設(shè)備是指在研究相询、開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)各種電子信息產(chǎn)品過(guò)程中專門用于材料制備、元器件制造加工蹂甥、整機(jī)裝調(diào)褒谒、工藝環(huán)境保證、生產(chǎn)過(guò)程監(jiān)控和產(chǎn)品質(zhì)量控制的設(shè)備翁脓。主要分為半導(dǎo)體和集成電路生產(chǎn)設(shè)備普计、電子元件和機(jī)電組件生產(chǎn)設(shè)備、電真空器件生產(chǎn)設(shè)備漫北、電子整機(jī)裝聯(lián)設(shè)備迂唤、凈化設(shè)備、試驗(yàn)設(shè)備市贡、電子通用設(shè)備和電子專用工模具等革惊。

 

 電子儀器以電子電路技術(shù)為基礎(chǔ)，融合測(cè)試測(cè)量技術(shù)切果、計(jì)算機(jī)技術(shù)骏卿、通信技術(shù)、數(shù)字技術(shù)淘太、軟件技術(shù)姻僧、總線技術(shù)等組成單機(jī)或自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，通過(guò)數(shù)據(jù)采集蒲牧、存儲(chǔ)和處理撇贺，對(duì)被測(cè)信息量進(jìn)行數(shù)據(jù)顯示或圖形顯示，根據(jù)被測(cè)對(duì)象的需要輸出信息量以進(jìn)行系統(tǒng)控制。目前國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)將電子儀器分為25個(gè)門類松嘶，其中前20類為電子測(cè)量?jī)x器艘狭，后5類為電子應(yīng)用儀器。

 

 本著有所為有所不為的原則翠订，為集中力量巢音，實(shí)現(xiàn)重點(diǎn)突破，《專項(xiàng)規(guī)劃》主要涉及半導(dǎo)體和集成電路專用設(shè)備尽超、新型顯示器件專用設(shè)備官撼、電子整機(jī)裝聯(lián)設(shè)備、新型電子元器件專用設(shè)備等4種發(fā)展前景較好的設(shè)備領(lǐng)域及電子測(cè)量?jī)x器橙弱。

 

 一歧寺、關(guān)于“十五”回顧

  

 目前，我國(guó)電子專用設(shè)備和儀器生產(chǎn)廠家約400多家傻椿。“十五”期間姆歹，國(guó)內(nèi)電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展較快肤狞，產(chǎn)業(yè)規(guī)模不斷擴(kuò)大，部分設(shè)備儀器已能滿足國(guó)內(nèi)需求虽浆，技術(shù)創(chuàng)新取得新進(jìn)展货瘫。根據(jù)中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)和中國(guó)電子儀器行業(yè)協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì)，2005年我國(guó)電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)分別實(shí)現(xiàn)銷售收入44.9億元和77億元休惰，同比增長(zhǎng)14.9%和37.5%。在半導(dǎo)體和集成電路專用設(shè)備方面，100nm高密度等離子體刻蝕機(jī)窥血、大傾角等離子注入機(jī)已初步實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化丛铅，步進(jìn)掃描光刻機(jī)和一批8英寸生產(chǎn)線設(shè)備研發(fā)取得重要進(jìn)展；在新型顯示器件專用設(shè)備方面名篷，國(guó)內(nèi)企業(yè)已能批量生產(chǎn)TN/STN-LCD全套后工序設(shè)備经芋、部分TN-STN前工序設(shè)備和部分TFT-LCD后工序設(shè)備，國(guó)產(chǎn)LED后封裝設(shè)備已占國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的20%途茫；在新型電子元器件專用設(shè)備方面碟嘴，絲印、編帶等片式元件和部分鋰離子電池設(shè)備已研制成功囊卜，太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備已基本成套供應(yīng)并實(shí)現(xiàn)出口娜扇，軟磁鐵氧體、硬磁鐵氧體等生產(chǎn)線國(guó)產(chǎn)設(shè)備的市場(chǎng)占有率已達(dá)90%栅组，中低檔設(shè)備已全面取代進(jìn)口并實(shí)現(xiàn)出口雀瓢，真空開(kāi)關(guān)管設(shè)備已成線供應(yīng)，技術(shù)水平達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平；在電子整機(jī)裝聯(lián)設(shè)備方面致燥，中低檔再流焊機(jī)登疗、波峰焊機(jī)等已部分供貨，用于無(wú)鉛焊料的波峰焊機(jī)和再流焊機(jī)的研制也取得較大進(jìn)展嫌蚤。在電子測(cè)量?jī)x器方面辐益，光通信測(cè)量?jī)x器技術(shù)水平已接近國(guó)際先進(jìn)水平，TD－SCDMA網(wǎng)絡(luò)檢測(cè)儀等部分技術(shù)含量較高的國(guó)產(chǎn)儀器先后研制成功脱吱。

 

 盡管“十五”期間我國(guó)電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)有了一定的發(fā)展智政，但產(chǎn)業(yè)規(guī)模小，集中度低苦频，關(guān)鍵基礎(chǔ)技術(shù)和設(shè)備研發(fā)制造能力薄弱清截，引進(jìn)消化吸收能力不強(qiáng)，具有市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力的企業(yè)少梧杠，對(duì)外依存度高弧蜒，高層次技術(shù)人才缺乏，吸引外商投資和促進(jìn)國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的政策環(huán)境不完善等制約因素仍有待突破啤都。

 

 二砰穗、關(guān)于“十一五”面臨的形勢(shì)

 

 《專項(xiàng)規(guī)劃》從市場(chǎng)需求、技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展面臨的環(huán)境三個(gè)方面溃锤，全面客觀分析了“十一五”期間我國(guó)電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展面臨的形勢(shì)渣么。

 

（一）市場(chǎng)分析

 

電子專用設(shè)備和儀器市場(chǎng)隨著行業(yè)的波動(dòng)而變化。2000年以前灿拗，全球電子專用設(shè)備和儀器市場(chǎng)保持著穩(wěn)定增長(zhǎng)蛋鸡。2001年市場(chǎng)出現(xiàn)大幅下滑，此后穩(wěn)步回升侍上，2004年基本恢復(fù)至2000年水平弓候，市場(chǎng)規(guī)模達(dá)1350億美元，占整個(gè)電子信息產(chǎn)品市場(chǎng)規(guī)模的6.84%洗做。未來(lái)幾年弓叛，隨著全球電子信息產(chǎn)業(yè)規(guī)模的進(jìn)一步擴(kuò)大，預(yù)計(jì)專用設(shè)備和儀器市場(chǎng)需求將保持穩(wěn)定增長(zhǎng)诚纸，增速將與此前十年基本保持一致撰筷，2010年市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)1700億美元，年均增長(zhǎng)3.5%畦徘。

 

 近年來(lái)毕籽，國(guó)際IT企業(yè)紛紛將生產(chǎn)基地移向中國(guó)，我國(guó)已成為全球電子信息產(chǎn)品的生產(chǎn)制造基地井辆，由此帶動(dòng)國(guó)內(nèi)電子專用設(shè)備和儀器需求大幅增長(zhǎng)关筒。與全球電子專用設(shè)備和儀器市場(chǎng)規(guī)模波動(dòng)起伏相反溶握，中國(guó)市場(chǎng)始終保持高速增長(zhǎng)，2005年市場(chǎng)規(guī)模達(dá)1100億元蒸播∷埽“十一五”期間，隨著國(guó)內(nèi)電子信息產(chǎn)業(yè)規(guī)模進(jìn)一步擴(kuò)大袍榆，設(shè)備和儀器更新?lián)Q代加快栽铁，電子專用設(shè)備和儀器市場(chǎng)規(guī)模將繼續(xù)保持較快增長(zhǎng)，預(yù)計(jì)“十一五”期間國(guó)內(nèi)電子專用設(shè)備和儀器市場(chǎng)規(guī)模增速將達(dá)15～20%柜步，2010年市場(chǎng)規(guī)模為2000-2500億元判原，專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展面臨著良好的市場(chǎng)前景。

 

 （二）技術(shù)趨勢(shì)

 

 電子專用設(shè)備和儀器融合了軟件冲或、精密電子今天、機(jī)械、化學(xué)腌棒、化工置悦、物理、材料套芦、自控档徘、光電、元器件等多學(xué)科技術(shù)短材，是基礎(chǔ)研究和應(yīng)用研究融合發(fā)展的產(chǎn)物，是國(guó)家科學(xué)技術(shù)水平和自主創(chuàng)新能力的集中體現(xiàn)烹豫，其技術(shù)和產(chǎn)品更新速度明顯高于其他產(chǎn)業(yè)搭独。一方面，電子專用設(shè)備和儀器要為電子信息產(chǎn)品制造和測(cè)試提供更先進(jìn)廊镜、高效的技術(shù)手段牙肝；另一方面，數(shù)字化嗤朴、高精度配椭、集成化、智能化等已成為電子專用設(shè)備和儀器發(fā)展的必然趨勢(shì)雹姊，其自身需要不斷加強(qiáng)升級(jí)換代股缸。

 

 電子專用設(shè)備技術(shù)方面，為奪取市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的制高點(diǎn)吱雏，縮短產(chǎn)品推出周期敦姻、滿足新產(chǎn)品和新工藝技術(shù)需要，行業(yè)發(fā)展對(duì)裝備制造商的要求越來(lái)越高歧杏，電子專用設(shè)備與產(chǎn)品制造工藝镰惦、軟件開(kāi)發(fā)的結(jié)合越來(lái)越密切迷守，裝備制造商不僅要向客戶提供硬件設(shè)備，還要不斷向提供全面解決方案和全方位服務(wù)的方向拓展娩伴。在半導(dǎo)體和集成電路專用裝備領(lǐng)域脯纽，芯片制造業(yè)要求設(shè)備滿足12英寸及以上大直徑、細(xì)線寬靠牙、超薄膜等工藝需求尽架，設(shè)備趨向于集成化和生產(chǎn)線自動(dòng)化，設(shè)備制造與半導(dǎo)體集成電路工藝越來(lái)越密不可分屋赌，不斷追求全面解決方案旦氓、全方位服務(wù)；在新型電子元器件設(shè)備領(lǐng)域瓜坎，電子元器件在保持微型化的同時(shí)汛刻，向組件化、模塊化瞪歹、多功能化瘾色、無(wú)源/有源元器件集成化發(fā)展，新型片式元器件專用設(shè)備必然要不斷滿足其生產(chǎn)工藝發(fā)展要求蛇热，以先進(jìn)的精密制造技術(shù)和高自動(dòng)化技術(shù)為依托梗爸，向系統(tǒng)化、集成化讹蘑、智能化末盔、敏捷化、綠色化方向發(fā)展座慰；在TFT-LCD和PDP等平板顯示器件專用設(shè)備領(lǐng)域陨舱，為提高原材料的利用率，降低生產(chǎn)成本版仔，生產(chǎn)設(shè)備趨向于加工尺寸增大游盲，精細(xì)度、集成度蛮粮、自動(dòng)化程度益缎、產(chǎn)品與工藝結(jié)合程度不斷提高；在LED專用設(shè)備領(lǐng)域然想，設(shè)備生產(chǎn)效率和自動(dòng)化程度越來(lái)越高莺奔，在線檢測(cè)裝置越來(lái)越多；在SMT專用設(shè)備領(lǐng)域又沾，隨著整機(jī)向微型化弊仪、集成化、多功能的方向發(fā)展巷科，電子元器件也朝著微型化冠八、集成化选曼、多功能的方向發(fā)展，推動(dòng)著SMT設(shè)備向多功能串题、柔性化的集成系統(tǒng)發(fā)展失傍，同時(shí)，隨著全球無(wú)鉛化的要求越來(lái)越緊迫宽舱，無(wú)鉛波峰焊機(jī)民沈、無(wú)鉛再流焊機(jī)、無(wú)鉛AOI設(shè)備逐漸成為發(fā)展主流荸脂，預(yù)計(jì)“十一五”末電子整機(jī)裝聯(lián)設(shè)備將全面實(shí)現(xiàn)無(wú)鉛化浸速。

 

 電子測(cè)量?jī)x器技術(shù)方面，隨著用戶對(duì)測(cè)試自動(dòng)化奕辖、網(wǎng)絡(luò)化就灸、高效率、高可靠性鲫肿、界面友善等的不斷追求泡嘴，電子測(cè)試技術(shù)與通信、計(jì)算機(jī)技術(shù)互相融合的趨勢(shì)越來(lái)越明顯逆济，軟件技術(shù)在電子測(cè)試技術(shù)中所占比重越來(lái)越重酌予。隨著整機(jī)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化水平的提升，整機(jī)測(cè)試儀器進(jìn)一步向功能模塊化奖慌、集成化方向發(fā)展抛虫。新型數(shù)字消費(fèi)類電子產(chǎn)品的不斷涌現(xiàn)，使得數(shù)字測(cè)試儀器和通用測(cè)試儀器不斷向高速和實(shí)時(shí)化方向演進(jìn)简僧；隨著新型元器件和新材料的不斷問(wèn)世莱褒，超高頻、大功率涎劈、低噪聲集成電路的深入應(yīng)用，電子測(cè)量?jī)x器的測(cè)試性能迅速提高阅茶，影響測(cè)量精度的不確定度越來(lái)越小蛛枚，測(cè)量不斷接近其物理極限——真值。

 

 （三）產(chǎn)業(yè)發(fā)展面臨的環(huán)境

 

 當(dāng)前脸哀，信息產(chǎn)業(yè)已成為我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)第一大支柱產(chǎn)業(yè)蹦浦，形成了較完善的產(chǎn)業(yè)鏈，但總體上仍處于國(guó)際分工的中低端摧垄，尤其是以軟件跃恍、集成電路、電子專用設(shè)備和儀器為代表的核心基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)與發(fā)達(dá)國(guó)家存在著很大差距匕蚁。要實(shí)現(xiàn)電子信息產(chǎn)業(yè)向創(chuàng)新效益型轉(zhuǎn)變态置，真正走上自主發(fā)展的道路道夭，要求我們?cè)凇笆晃濉逼陂g必須加快發(fā)展電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)。隨著我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展垄获，工業(yè)基礎(chǔ)的增強(qiáng)倾断，海外技術(shù)資源的增多，到“十一五”末彻虾，提高國(guó)產(chǎn)設(shè)備的配套能力守皆，部分關(guān)鍵設(shè)備接近國(guó)際先進(jìn)水平是完全有可能的。

 

 “十一五”期間溅宅，隨著國(guó)內(nèi)信息產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展砸镀，信息化建設(shè)的務(wù)實(shí)推進(jìn)，數(shù)字電視搪书、新一代移動(dòng)通信唱逢、下一代互聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程不斷加快，市場(chǎng)應(yīng)用日趨成熟谷饿，集成電路和新型顯示器件生產(chǎn)規(guī)模的進(jìn)一步擴(kuò)大和生產(chǎn)工藝的更新?lián)Q代惶我，為國(guó)內(nèi)電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展創(chuàng)造了廣闊的市場(chǎng)空間。

 

 黨的十七大報(bào)告明確提出要“振興裝備制造業(yè)”博投，國(guó)務(wù)院頒布的《國(guó)務(wù)院關(guān)于加快振興裝備制造業(yè)的若干意見(jiàn)》和《信息產(chǎn)業(yè)“十一五”規(guī)劃》都將電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)作為發(fā)展重點(diǎn)绸贡，《2006-2020年國(guó)家信息化發(fā)展戰(zhàn)略》把關(guān)鍵工藝裝備列為我國(guó)信息化發(fā)展的重點(diǎn)之一，《國(guó)家中長(zhǎng)期科技規(guī)劃》把極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝列為國(guó)家科技重大專項(xiàng)毅哗，這些措施表明了國(guó)家發(fā)展電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)的決心听怕，也從政策上為電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展創(chuàng)造了有利條件。

 

 三虑绵、關(guān)于發(fā)展思路與目標(biāo)

 

 根據(jù)對(duì)電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)現(xiàn)有基礎(chǔ)的總結(jié)尿瞭，對(duì)“十一五”期間市場(chǎng)需求、技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)翅睛、面臨的發(fā)展環(huán)境等分析声搁，《專項(xiàng)規(guī)劃》提出了以下發(fā)展思路與目標(biāo)。

 

（一）發(fā)展思路

 

《專項(xiàng)規(guī)劃》提出通過(guò)加大國(guó)際合作捕发，加強(qiáng)共性基礎(chǔ)技術(shù)研究尤吟，突破關(guān)鍵技術(shù)，縮小與國(guó)際先進(jìn)水平的差距的核心思路刷寨。出發(fā)點(diǎn)集中在三個(gè)方面：首先翁骗，我國(guó)電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)技術(shù)基礎(chǔ)薄弱，自主創(chuàng)新能力不足铭懂，與國(guó)際先進(jìn)水平存在明顯差距的現(xiàn)狀引笛，決定了我國(guó)在發(fā)展該行業(yè)的過(guò)程中必須注重加大國(guó)際合作，通過(guò)引進(jìn)消化吸收和合作開(kāi)發(fā)來(lái)提升產(chǎn)業(yè)技術(shù)水平肉诚，培養(yǎng)一批高素質(zhì)的人才决毕。其次忌挺，作為融合眾多學(xué)科的綜合性產(chǎn)業(yè)，電子專用設(shè)備和儀器制造業(yè)基礎(chǔ)性強(qiáng)浆菇，關(guān)聯(lián)度高遥加，要加快產(chǎn)業(yè)發(fā)展，必須加強(qiáng)共性基礎(chǔ)技術(shù)研究竣伍，不斷加大投入力度观复。第三，要本著“有所為页畦，有所不為”的原則胖替，抓住一些國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)相對(duì)好、市場(chǎng)需求大的領(lǐng)域豫缨，集中力量独令，力爭(zhēng)掌握部分關(guān)鍵技術(shù)，擁有部分自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)好芭，不斷縮小與國(guó)際先進(jìn)技術(shù)水平的差距燃箭。

 

《專項(xiàng)規(guī)劃》提出以新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展為契機(jī)帶動(dòng)電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展。數(shù)字電視舍败、新一代移動(dòng)通信和下一代互聯(lián)網(wǎng)等新興產(chǎn)業(yè)招狸，具有良好的技術(shù)基礎(chǔ)和廣闊的市場(chǎng)前景，當(dāng)前正處在產(chǎn)品和技術(shù)更新?lián)Q代邻薯、蓬勃發(fā)展的關(guān)鍵時(shí)期裙戏，新的生產(chǎn)工藝和技術(shù)要求為專用設(shè)備和儀器的發(fā)展創(chuàng)造了新的發(fā)展契機(jī)。把握機(jī)遇厕诡，將數(shù)字電視累榜、新一代移動(dòng)通信和下一代互聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)開(kāi)發(fā)、產(chǎn)業(yè)化倘封、標(biāo)準(zhǔn)化工作與相應(yīng)的專用設(shè)備和儀器的研制有機(jī)結(jié)合癣辉，推動(dòng)產(chǎn)用結(jié)合，完全有可能實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵領(lǐng)域的突破帚萧，這在TD-SCDMA產(chǎn)業(yè)化工作中已經(jīng)得到了很好的驗(yàn)證忌舔。

 

《專項(xiàng)規(guī)劃》強(qiáng)調(diào)大力發(fā)展具有戰(zhàn)略意義的技術(shù)裝備，鼓勵(lì)發(fā)展量大面廣的專用設(shè)備和儀器秆刑。集成電路、平板顯示器件等是體現(xiàn)電子信息產(chǎn)業(yè)未來(lái)發(fā)展水平的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)虏斤，我國(guó)發(fā)展該類產(chǎn)業(yè)還面臨國(guó)際先行國(guó)家在技術(shù)唧谊、設(shè)備和元器件采購(gòu)等方面的限制，將與其相關(guān)的電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)作為發(fā)展重點(diǎn)脊距，意在加強(qiáng)政策引導(dǎo)露惑，加大投入力度非阿，營(yíng)造更有利于產(chǎn)業(yè)發(fā)展的環(huán)境，以電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)的繁榮發(fā)展钢老，促進(jìn)戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)的突破湾关。新型電子元器件專用設(shè)備、表面貼裝和支持無(wú)鉛工藝的整機(jī)裝聯(lián)設(shè)備猎塞，及電子測(cè)量?jī)x器试读，是電子元器件和整機(jī)研發(fā)和制造的基礎(chǔ)與核心，在我國(guó)信息產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的今天荠耽，市場(chǎng)前景也非常廣闊钩骇，我國(guó)應(yīng)在已有產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)上，加強(qiáng)引導(dǎo)铝量，不斷加大投入倘屹，提升產(chǎn)品層次和競(jìng)爭(zhēng)力，力爭(zhēng)實(shí)現(xiàn)部分產(chǎn)品能夠滿足國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需要慢叨，并逐步替代進(jìn)口纽匙。

 

（二）發(fā)展目標(biāo)

 

 根據(jù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展思路，在綜合分析國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)需求拍谐、技術(shù)發(fā)展等因素的基礎(chǔ)上烛缔，《專項(xiàng)規(guī)劃》從產(chǎn)業(yè)發(fā)展和技術(shù)創(chuàng)新兩方面闡述了電子專用設(shè)備和儀器行業(yè)發(fā)展的目標(biāo)。

 

 產(chǎn)業(yè)發(fā)展目標(biāo)赠尾×λ耄《專項(xiàng)規(guī)劃》對(duì)電子專用設(shè)備和儀器分別提出了增長(zhǎng)目標(biāo)和國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率目標(biāo)〈昔妫“十五”期間褪鸳，我國(guó)電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)規(guī)模的年均復(fù)合增長(zhǎng)率約為17%，考慮到“十一五”國(guó)內(nèi)電子信息產(chǎn)業(yè)規(guī)模將進(jìn)一步擴(kuò)大鹿吴，《專項(xiàng)規(guī)劃》提出了電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)規(guī)模將保持年均25%增長(zhǎng)速度的發(fā)展目標(biāo)揣响。相對(duì)于設(shè)備，電子測(cè)量?jī)x器的更新?lián)Q代率相對(duì)較低干策，《專項(xiàng)規(guī)劃》提出了“十一五”期間國(guó)內(nèi)電子測(cè)量?jī)x器產(chǎn)業(yè)規(guī)模將年均增長(zhǎng)20%的發(fā)展目標(biāo)儿猪。目前，國(guó)產(chǎn)電子專用設(shè)備和儀器的市場(chǎng)占有率尚不足10%彩淮，隨著國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策的出臺(tái)和落實(shí)相梳、重大設(shè)備儀器關(guān)鍵技術(shù)陸續(xù)突破、國(guó)產(chǎn)設(shè)備和儀器低成本優(yōu)勢(shì)的發(fā)揮懊潜，預(yù)計(jì)“十一五”期間國(guó)內(nèi)電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)將呈現(xiàn)快速發(fā)展態(tài)勢(shì)奢惋，到2010年國(guó)產(chǎn)設(shè)備和儀器的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率有望突破20%。

 

 技術(shù)創(chuàng)新目標(biāo)⌒ッぃ基于我國(guó)電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展現(xiàn)狀膳灶，《專項(xiàng)規(guī)劃》對(duì)集成電路、平板顯示器件等戰(zhàn)略性領(lǐng)域的生產(chǎn)設(shè)備和電子測(cè)量?jī)x器提出了技術(shù)創(chuàng)新目標(biāo)立由。在半導(dǎo)體和集成電路專用設(shè)備方面轧钓，經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期努力，我國(guó)在光刻機(jī)锐膜、刻蝕機(jī)毕箍、離子注入機(jī)等關(guān)鍵設(shè)備領(lǐng)域已具備一定的研發(fā)基礎(chǔ)，通過(guò)國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策的落實(shí)枣耀、重大專項(xiàng)的扶持和國(guó)有相關(guān)單位的共同努力霉晕，到2010年實(shí)現(xiàn)12英寸部分生產(chǎn)設(shè)備上線使用，8英寸后端生產(chǎn)設(shè)備基本滿足國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求是可能的捞奕。在平板顯示器件專用設(shè)備領(lǐng)域牺堰，前端設(shè)備生產(chǎn)工藝復(fù)雜、技術(shù)難度大颅围，國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)薄弱伟葫。但在后端設(shè)備方面，中國(guó)電子科技集團(tuán)第2院促、45研究所酒旷、七星華創(chuàng)等企業(yè)已能夠提供部分TFT-LCD后工序設(shè)備和TN/STN-LCD后工序的全套系統(tǒng)集成解決方案，在此基礎(chǔ)上满傍，通過(guò)國(guó)家平板顯示器件專項(xiàng)的扶持渡表，鼓勵(lì)平板顯示器件產(chǎn)業(yè)發(fā)展政策的制定落實(shí)，到2010年平板顯示器件后端設(shè)備將基本能夠立足國(guó)內(nèi)伞注。在電子測(cè)量?jī)x器領(lǐng)域赐罪，由于現(xiàn)有產(chǎn)業(yè)規(guī)模小，相關(guān)技術(shù)和產(chǎn)業(yè)支撐能力弱搜掸，人才缺乏详础，投入不足，缺乏核心技術(shù)和自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)酝螃，因此普易，《專項(xiàng)規(guī)劃》提出“初步掌握部分核心技術(shù)”的技術(shù)創(chuàng)新目標(biāo)。

 

 四疾隙、關(guān)于重點(diǎn)任務(wù)

 

 （一）電子專用設(shè)備

 

 ——半導(dǎo)體和集成電路專用設(shè)備

 

 半導(dǎo)體和集成電路專用設(shè)備是指制造各種半導(dǎo)體器件和集成電路的專用設(shè)備畜股，包括晶片制備、掩膜版制備鸯两、芯片制造坏瞄、封裝測(cè)試桂对、在線工藝檢測(cè)、超凈等設(shè)備和專用工模具鸠匀，是電子專用設(shè)備中技術(shù)含量和價(jià)值最高、應(yīng)用面最廣的一個(gè)門類逾柿，其關(guān)鍵設(shè)備涉及的專業(yè)學(xué)科廣泛缀棍，具有很高的制造難度。半導(dǎo)體和集成電路專用設(shè)備在電子專用設(shè)備中占據(jù)重要位置机错，其銷售額約占電子專用設(shè)備總銷售額的20%爬范。

 

 我國(guó)政府和產(chǎn)業(yè)界十分重視半導(dǎo)體和集成電路專用設(shè)備的發(fā)展，通過(guò)國(guó)家專項(xiàng)扶持弱匪、營(yíng)造環(huán)境吸引海外人才投資創(chuàng)業(yè)青瀑、不斷完善產(chǎn)業(yè)發(fā)展環(huán)境，現(xiàn)已涌現(xiàn)出中國(guó)電子科技集團(tuán)第45萧诫、48研究所斥难，七星華創(chuàng)，無(wú)錫尚德等一批擁有一定實(shí)力和發(fā)展?jié)摿Φ墓歉善髽I(yè)帘饶，在前后工序生產(chǎn)設(shè)備蟹梗、材料制備設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備等方面已具備一定的產(chǎn)業(yè)和技術(shù)基礎(chǔ)疯煮。結(jié)合集成電路產(chǎn)業(yè)“十一五”規(guī)劃“重點(diǎn)發(fā)展12英寸集成電路生產(chǎn)線尚稍，建設(shè)5條以上12英寸、90納米的芯片生產(chǎn)線特掀；建設(shè)10條8英寸0.13～0.11微米芯片生產(chǎn)線”的發(fā)展重點(diǎn)竭珊，《專業(yè)規(guī)劃》提出要重點(diǎn)發(fā)展8-12英寸集成電路關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備，如光刻設(shè)備葬聘、刻蝕設(shè)備等芯片制造設(shè)備震头，鍵合設(shè)備、劃片機(jī)等封裝設(shè)備和專用模具等萧状。同時(shí)撵刷，考慮到化合物半導(dǎo)體具有獨(dú)特的技術(shù)優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用領(lǐng)域，是新型半導(dǎo)體器件的重要材料捣兄，《專項(xiàng)規(guī)劃》提出要積極跟蹤化合物半導(dǎo)體技術(shù)褐袒，加快化合物半導(dǎo)體（GaAs、InP稍浆、GaN载碌、SiC等）制造設(shè)備的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。

 

 ——新型顯示器件專用設(shè)備

 

 新型顯示器件專用設(shè)備主要指平板顯示器件（FPD）生產(chǎn)設(shè)備衅枫，FPD主要包括LCD（液晶顯示器件）嫁艇、LED（發(fā)光二極管）、PDP（等離子體顯示器件）、OLED（有機(jī)電致發(fā)光二極管）步咪、VFD（真空熒光顯示器件）和FED（場(chǎng)致發(fā)射顯示器件）等论皆。

 

 根據(jù)信息產(chǎn)業(yè)“十一五”規(guī)劃、電子基礎(chǔ)材料和關(guān)鍵元器件“十一五”專項(xiàng)規(guī)劃“大力發(fā)展自主TFT-LCD猾漫、PDP等新型平板顯示器件產(chǎn)業(yè)”点晴，“到2010年，建立較為完備的新型顯示器件生產(chǎn)體系悯周，產(chǎn)業(yè)鏈基本齊全粒督，新型顯示器件產(chǎn)業(yè)規(guī)模達(dá)到2500億元，有較強(qiáng)的國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力”的要求禽翼，考慮到至“十一五”末預(yù)計(jì)全球TFT-LCD屠橄、PDP等平板顯示器件市場(chǎng)需求將超過(guò)1000億美元，《專項(xiàng)規(guī)劃》提出“十一五”期間首先要重點(diǎn)突破市場(chǎng)潛力大的TFT-LCD生產(chǎn)設(shè)備硫忆，積極開(kāi)展面板生產(chǎn)線陣列和成盒等前道工藝設(shè)備的研究開(kāi)發(fā)筷资，重點(diǎn)提高濕/干法刻蝕機(jī)、液晶灌注機(jī)等研制水平俯炮，形成TFT-LCD移載冬溯、清洗等設(shè)備的配套能力。由于平板顯示技術(shù)目前處于百花齊放的競(jìng)爭(zhēng)格局敦浅，《專項(xiàng)規(guī)劃》提出在發(fā)展TFT-LCD設(shè)備的同時(shí)录教，也要加強(qiáng)高亮度LED、PDP和OLED等其他新型平板顯示器件關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備的開(kāi)發(fā)生產(chǎn)赛琢，為我國(guó)發(fā)展下一代平板顯示技術(shù)和產(chǎn)品提供支撐字瘫。

 

 ——電子整機(jī)裝聯(lián)設(shè)備

 

 電子整機(jī)裝聯(lián)設(shè)備包括表面貼裝(SMT)設(shè)備、通孔插裝(THT)設(shè)備悴碳、焊接設(shè)備借街、清洗設(shè)備、整機(jī)裝配線灾囊、生產(chǎn)傳輸線听想、零件加工整形設(shè)備等。

 

 隨著全球電子信息產(chǎn)品整機(jī)制造業(yè)向我國(guó)轉(zhuǎn)移產(chǎn)能马胧，消費(fèi)電子汉买、計(jì)算機(jī)及外設(shè)、通信系統(tǒng)與終端產(chǎn)品等電子整機(jī)產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)全自動(dòng)精密貼片機(jī)佩脊、精密印刷機(jī)蛙粘、插裝機(jī)、自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備（AOI）等電子整機(jī)裝聯(lián)設(shè)備的需求增長(zhǎng)迅速威彰。為此出牧，我們要進(jìn)一步加大對(duì)該類設(shè)備的研發(fā)投入穴肘，積極推動(dòng)產(chǎn)業(yè)化，不斷擴(kuò)大市場(chǎng)占有率舔痕。同時(shí)评抚，隨著國(guó)內(nèi)外對(duì)環(huán)境保護(hù)的要求日益嚴(yán)格，歐盟已于2006年開(kāi)始實(shí)施《關(guān)于在電子電氣設(shè)備中限制使用某種危險(xiǎn)物的指令》(ROHS指令)伯复，為滿足產(chǎn)業(yè)對(duì)設(shè)備無(wú)鉛化的要求盈咳，我們應(yīng)高度重視，大力支持適應(yīng)無(wú)鉛工藝的表面貼裝設(shè)備的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化边翼。

 

 ——新型電子元器件專用設(shè)備

 

 新型電子元器件專用設(shè)備主要包括表面貼裝元器件(SMC/SMD)、敏感元器件溅鞠、傳感器徽七、高頻頻率器件、綠色電源等生產(chǎn)設(shè)備仙茴。

 

 “十一五”期間蛹柔，電子整機(jī)產(chǎn)品的更新?lián)Q代對(duì)電子元器件和材料的需求進(jìn)一步增長(zhǎng)，也對(duì)電子元器件和材料行業(yè)的發(fā)展提出了更高要求签梭。預(yù)計(jì)到2010年电尖，國(guó)內(nèi)電子元器件市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)2.9萬(wàn)億元，新型元器件將向微型化稻悴、片式化勺帜、高性能化、集成化赫裂、智能化晤哩、環(huán)保節(jié)能方向發(fā)展。微小型和片式化技術(shù)今燃、無(wú)源集成技術(shù)侈净、綠色化生產(chǎn)技術(shù)等已成為行業(yè)技術(shù)進(jìn)步的重點(diǎn)，微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)和微組裝技術(shù)正的高速發(fā)展僧凤。為此畜侦，《專項(xiàng)規(guī)劃》提出要重點(diǎn)發(fā)展片式元器件、新型綠色電池躯保、新型印刷線路板等量大面廣的新型元器件生產(chǎn)設(shè)備旋膳，高頻頻率器件生產(chǎn)設(shè)備、MEMS生產(chǎn)設(shè)備及電子專用工模具和高精度模具等吻氧，為電子元器件產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展提供必需的裝備支撐溺忧。

 

 （二）電子測(cè)量?jī)x器

 

 電子測(cè)量?jī)x器主要包括通用測(cè)量?jī)x器、電子基礎(chǔ)測(cè)量?jī)x器和集成電路盯孙、通信鲁森、廣播電視祟滴、應(yīng)用電子等專業(yè)測(cè)量?jī)x器。

 

 根據(jù)行業(yè)“十一五”規(guī)劃發(fā)展歌溉，結(jié)合國(guó)內(nèi)集成電路垄懂、新型顯示器件、新型電子元器件等核心基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展痛垛，新一代移動(dòng)通信產(chǎn)業(yè)的蓬勃興起秋衡，廣播電視數(shù)字化進(jìn)程不斷加快，《專項(xiàng)規(guī)劃》提出要加快發(fā)展集成電路測(cè)量?jī)x器晚簇，新型顯示器件挑卫、新型電子元器件等電子基礎(chǔ)測(cè)量?jī)x器，以及新一代移動(dòng)通信食召、數(shù)字電視等測(cè)量?jī)x器贩普。同時(shí)，為滿足行業(yè)不斷發(fā)展的需要付杰，為產(chǎn)業(yè)共性和基礎(chǔ)性技術(shù)研究提供支撐研脸，要積極發(fā)展高性能通用測(cè)量?jī)x器。

 

 五蚓橡、關(guān)于政策措施

 

 為保障“十一五”期間我國(guó)電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展目標(biāo)的順利實(shí)現(xiàn)或怜，《專項(xiàng)規(guī)劃》從營(yíng)造良好的政策環(huán)境、加大資金扶持力度抠佩、積極引進(jìn)外商投資和加大國(guó)際合作等方面提出了政策建議归衫。具體措施包括：要積極落實(shí)《國(guó)務(wù)院關(guān)于加快振興裝備制造業(yè)的若干意見(jiàn)》、《國(guó)務(wù)院關(guān)于實(shí)施<國(guó)家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要>若干配套政策》等現(xiàn)有產(chǎn)業(yè)政策姻蚓，適時(shí)修訂《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄》宋梧，通過(guò)加大國(guó)家資金投入、稅收激勵(lì)狰挡、金融支持捂龄、政府采購(gòu)優(yōu)先、鼓勵(lì)引進(jìn)消化吸收再創(chuàng)新等手段加叁，進(jìn)一步營(yíng)造良好的政策環(huán)境倦沧，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。同時(shí)它匕，要通過(guò)修訂《外商投資產(chǎn)業(yè)指導(dǎo)目錄》展融，調(diào)整關(guān)稅政策等措施，為國(guó)際優(yōu)勢(shì)企業(yè)來(lái)我國(guó)投資創(chuàng)造有利環(huán)境豫柬，不斷加大國(guó)際合作告希，逐步提升產(chǎn)業(yè)技術(shù)水平和競(jìng)爭(zhēng)能力。

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