揭秘海德漢編碼器的核心部分
海德漢編碼器的核心部分是測(cè)量基準(zhǔn)表悬,通常是柵距為0.25μm到10μm的刻線。這些精確的刻線是由海德漢先進(jìn)的工藝制作出來(lái)的(比如DIADUR或AURODUR工藝)臊癞,它們是影響海德漢編碼器精度的決定性因素。這些刻線存在于規(guī)定的細(xì)小間隔里吸畸,它們的邊緣清晰度很高绣嫉。而且刻線抵抗機(jī)械和化學(xué)影響的能力強(qiáng),抗震動(dòng)和沖擊的能力也很強(qiáng)翁脓。有固定的熱膨脹性能蝠题。
相位光柵 | 特殊的制造工藝可以生產(chǎn)出有特定光學(xué)特性的三維柵格。這些柵格的寬度在幾個(gè)微米到四分之一微米之間蝎蚣。 |
SUPRADUR | SUPRADUR工藝制造出來(lái)的柵格很像三維光柵殷宴,但它們只有平面結(jié)構(gòu),所以抗污染能力很強(qiáng)淹误。 |
MAGNODUR | 只有幾個(gè)微米的非常薄的磁性層上有很精細(xì)的磁柵窜货。 |
DIADUR | DIADUR精確刻線由基體上非常薄的鉻層構(gòu)成,通诚娣ⅲ基體為玻璃或玻璃陶瓷末雪。刻線的精度在微米和亞微米的氛圍內(nèi)宰僧。 |
AURODUR | AURODUR刻線是由高反射率的被腐蝕的金線構(gòu)成材彪。AURODUR刻線的基體通常是鋼。 |
METALLUR | 由于反射黃金層的特殊光學(xué)合成物琴儿, METALLUR刻線顯示為實(shí)際成面構(gòu)造段化。因此它們特別抗污染。 |
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